中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)檢測(cè)儀器基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式,，對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。典型結(jié)果包括：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等,；

2、二維圖像分析：距離,，半徑,，斜坡，格子圖,，輪廓線等,；

3、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

SuperViewW系列3D光學(xué)檢測(cè)儀器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用范例

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。